精密過濾器及袋式過濾器在晶圓硅片研磨/切割廢水回用中的應用

過程簡述

制造半導體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片，晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長、晶棒裁切與檢測、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗包裝工序；研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。

問題描述

??廢水處理不當或直接排放會污染環(huán)境

??處理水不加以回收造成水資源浪費

傳統(tǒng)處理方式有局限（占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定）

產(chǎn)品應用

上層清液溢流至中間水箱，經(jīng)中間水泵將清水增壓后進一步的過濾，經(jīng)過10微米的袋式過濾器、1微米的濾芯式過濾器、活性炭吸附裝置及終端0.2微米的精密過濾器，之后進入末端水箱，經(jīng)末端送水泵將系統(tǒng)完全處理的回用水送至超濾產(chǎn)水箱，可直接進反滲透裝置以繼續(xù)生產(chǎn)超純水；上述過程亦可采用陶瓷膜微濾裝置對上清液作過濾濃縮處理。